오일씰&메카닉칼씰
오일씰
Oil-Seal
반도체 웨이퍼의 연마 공정시 CMP장치 내에서 반도체
웨이퍼의 후면에 부착되어 반도체 웨이퍼를 흡착 또는
가압하는데 사용되는 핵심부품이다.
- 오일씰의 개요
- Oil을 밀봉하는 기계요소로서, 기계의 마찰부분에는 기계작동을 원활하게 하기 위해서 기름을 넣고 있는데, 그 기름이 기계의 틈새로부터 누유되는 것을 방지하기 위해서 오일씰이 사용되고 있습니다. 현재는 기계기술의 발달에 따라 오일뿐만 아니라,물이나 약품의 누설, 또는 기계 안으로 외부의 이물질이 침입하는 것을 방지하기 위해서 오일 씰을 사용하기도 한다.
- 오일씰의 특징
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Oil-Seal 은 상대적으로 간단한 구조를 가지며, 마찰이 작으면서도 좋은 Sealing 특성을 가지고 있다. Sealing Lip과 기계 운동부 사이의 마찰에 의해 Lip의 마모가 일어나지 않도록 적절한 윤활이 되도록 주의 하여야 한다.
- 오일씰의 선정
- 통상 공급되는 오일 씰은 범용이므로 고압, 고속,고온,화학약품등 특성의 용도에는 밀봉기능에 문제가 생길 수 있으므로 설계시에는 오일 씰의 구조와 재질등이 특수 사용환경에 적합한지를 반드시 체크하여야 합니다.
- 오일씰의 구성
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메카닉칼씰
Mechanical-Seal
기계적 구조를 갖춘 Seal Face을 일반적으로 칭하는 것
이며 회전부와 고정부가 접촉하여 Sealing면을 형성한 후
완벽한 누설방지를 하고자 함이다.
- 메카닉칼씰의 개요
- 메카닉칼씰 이라 함은 기계적 구조를 갖춘 Seal Face를 일반적으로 칭하는 것이며 회전부와 고정부가 접촉하여 Sealing면을 형성한 후 완벽한 누설방지를 하고자 함이다. 회전력을 이용, 유체나, Gas등을 이송할 때 Shaft Casing 사이에 대기 압력과 접하는 곳이 있으며, 이 접하는 부위의 누설을 가장 효과적으로 Sealing하는데 그 주 목적이 있다.
- 메카닉칼씰의 특징
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물, Oil ,산 ,알카리 용액 및 공기와 같은 다양한 액체 및 기체의 Sealing에 적용되며, 고압과 고속의 환경에서도 장기간 수명을 유지한다. Seal 의 구조상 Shaft의 마모는 발생하지 않으나 가격이 비싸다. 주로 액을 이송하는 교반기, pump, compressor, mill mixer등이며, 화학, 식품, 산업기계 전반에 걸쳐 사용된다.
- 메카닉칼씰의 선정
- Equipment의 운전조건에 의하여 선정 되어지며 Mechanical seal의 재질 및 seal type선정은 항상 주의를 하여 올바른 선택을 하여야 한다.
- 메카닉칼씰의 구성
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