과불소오링
개요
과불소 오링(Perfluoroelastomer O-Ring)은 고온, 화학, 및 가스에 대한 내성이 뛰어난 고성능 씰링 재료입니다. 이 오링은 주로 석유화학, 반도체 및 항공우주 산업에서 사용되며, 극한 환경에서도 안정적인 성능을 제공합니다. 고가이지만 긴 수명과 높은 신뢰성을 보장하는 특성을 갖고 있습니다.
특징
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01
대부분의 화학물질, 용제, 산, 알칼리 및 고온 가스에 대해 뛰어난 내성을 보여 극한 환경에서 사용할 수 있습니다.
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02
최대 300°C 이상의 고온에서도 물리적 특성을 유지하며 안정적으로 작동합니다.
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03
높은 압력과 마모에 견딜 수 있어 장시간 사용해도 성능이 유지됩니다.
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04
반도체 제조 공정 등에서 발생하는 플라즈마 환경에서도 높은 내구성을 가지며 성능 저하 없이 사용 가능합니다.
MOSEZ® 과불화탄성체 제품의 적용 가이드
| 공정 | MOSEZ Ⓡ Max. Temp. | DuPont™ Kalrez Ⓡ | GreeneTweed™ Chemraz Ⓡ | MOS™ MOSEZ Ⓡ | 특징 |
|---|---|---|---|---|---|
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HDPCVD PECVD SACVD |
300 ℃ | 9100 | 3060DB | 산소 및 불소계 플라즈마 내 낮은 침식률 및 초저입자 발생 | |
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HDPCVD PECVD |
300 ℃ | 8085 | 3070E | NF3 플라즈마에서 최소한의 입자 생성을 위해 특별히 제조되었습니다 | |
| LPCVD RTP |
300 ℃ | 8475 | 3070Ⅰ | 저한 가스 배출 감소 및 압축 세트 저항 개선 | |
| Wet Process |
275 ℃ | 6375 | 2780B | 가능한 한 넓은 범위의 화학물질과 내온성 | |
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Oxidation Diffusion MCVD ALD, LPCVD |
320 ℃ | 8900 | 3280B | 낮은 압축 세트 특성이 우수하며, 고온에서도 물성 유지가 우수합니다 | |
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CVD RPCVD APCVD DCVD |
230 ℃ | E38 | 2380W | 다양한 공격적인 화학 물질을 견뎌냅니다, 우수한 물성 |
